Pritsivad sihtmärgid saab nende kuju järgi jagada tasapinnalisteks ja pöörlevateks sihtmärkideks. Tasapinnalised sihtmärgid on pikad, ruudukujulised või teatud paksusega ümmargused sihtmärgid jne, mis valmistatakse sihtmärgi tooriku ja tugiplaadi sidumisel. Pommitamise ajal on sihttoorik ja põhimik üksteisega paralleelsed ning sihttooriku ja aluspinna vahele moodustub elektromagnetväli. Pöörlevad sihtmärgid on torukujulised sihtmärgid ja pihustamise ajal moodustub substraadi suunas elektromagnetväli. Tasapinnalised sihtmärgid on mitmekülgsemad, kuid nende kasutusmäär on madalam; pöörlevatel sihtmärkidel on kõrgem kasutusmäär, kuid halb katte ühtlus.
Pöörlevate sihtmärkide eelised
1. Pöörlevatel sihtmärkidel on suurem materjalikasutus
Pöörlevad sihtmärgid võivad pöörlemise ajal ühtlaselt kulutada sihtpinna pinda, parandades seeläbi sihtmärgi materjalikasutust, mis võib tavaliselt ulatuda 70–90%. Kuna aga pihustamisega tegeleb tasapinnalise sihtmärgi ainult üks fikseeritud külg, tekivad kasutamise käigus "sooned" või "süvendid", mille tulemuseks on ebaühtlane materjalikulu ning materjali kasutusmäär on üldiselt 30%-40%. Kallite sihtmärkide (nagu väärismetallid või haruldased muldmetallid) puhul võivad pöörlevad sihtmärgid oluliselt vähendada kulusid ja suurendada majanduslikku kasu.
2. Pöörlevatel sihtmärkidel on parem pritsimise ühtlus
Pöörlevad sihtmärgid pöörlevad töötamise ajal pidevalt, nii et iga sihtpinna asukoht on plasmaga ühtlaselt kokku puutunud, moodustades ühtlasema pihustuskiiruse. Sellel on ilmsed eelised rakenduste puhul, kus on kõrged nõuded kile ühtlusele (näiteks kuvarid ja pooljuhtprotsessid). Tasapinnalised sihtmärgid kalduvad ebaühtlasele kilepaksusele lokaalse üle-pihustamise tõttu, eriti suure-pindalaga substraatide või pideva tootmise korral.
3. Pöörlevatel sihtmärkidel on pikem kasutusiga
Kuna pöörlevad sihtmärgid tarbivad ühtlasemat materjali, on nende kasutusiga tavaliselt pikem kui tasapinnalistel sihtmärkidel. See tähendab, et samades töötingimustes on pöörleva sihtmärgi vahetussagedus väiksem, mis vähendab seadmete seisakuid ja parandab tootmise efektiivsust. Mõnede pidevate tootmisprotsesside puhul, nagu suure-pinna katmine ja rull-rulli katmine-, võib pöörlev sihtmärk oluliselt pikendada tootmistsüklit ja vähendada hoolduskulusid.
4. Pöörlevatel sihtmärkidel on kõrgem kile kvaliteet
Pöörleva sihtmärgi poolt pihustatud kilekiht on tihedam ja ühtlasem, mis sobib mõne rakenduse jaoks, kus kile kvaliteedile esitatakse ülikõrgeid nõudeid (nt tipptasemel -elektroonikaseadmete ja pooljuhtseadmete tootmine). Seda seetõttu, et pöörlev sihtmärk võib tõhusalt vähendada sihtpinna ebaühtlasest pihustamisest põhjustatud defekte ning parandada kilekihi kvaliteeti ja konsistentsi.
Järeldus
Võrreldes tasapinnaliste sihtmärkidega on pöörlevatel sihtmärkidel suurem materjalikasutus, pikem kasutusiga, ühtlasem pihustusefekt ning kohanemisvõime suurel{0}}pinnal ja suurel{1}}tootmisel. See muudab pöörlevad sihtmärgid oluliseks valikuks tänapäevase õhukese kile sadestamise valdkonnas, eriti suure-pindala katmise, pideva tootmise ja tipptasemel-elektroonikaseadmete tootmise puhul.